[Focus Compensation]
Focus.0 = "\00\00\00\02\00\00\00\05À‡Ì\00\00\00\00\00@} \00\00\00\00\00@¡â\00\00\00\00\00@®ƒÌÀ\00\00\00@µªæ`\00\00\00@•\1Efffff@•333333@”è\00\00\00\00\00@”þfffff@•\0533333"
Focus.1 = "\00\00\00\02\00\00\00\00"
Focus.2 = "\00\00\00\02\00\00\00	À‹@ÌÀ\00\00\00@\\s3@\00\00\00@^Ó3@\00\00\00@˜dÌÀ\00\00\00@›\05™ \00\00\00@¤ú\00\00\00\00\00@¯*f`\00\00\00@³ \00\00\00\00\00@µåf`\00\00\00@”=33333@”?33333@”D\00\00\00\00\00@”S33333@”B\00\00\00\00\00@”Dfffff@”Bfffff@”8fffff@”W™™™™š"
Focus.3 = "\00\00\00\02\00\00\00\00"

[Z Axis]
Z.Position = "@¢\13ÌÀ\00\00\00À•¤ÌÀ\00\00\00@·|æ`\00\00\00"
Z.Step.(µm) = "@\00\00\00\00\00\00\00"

[Tile]
Start = "@oªP\1B_g°@X\18*™0¾\10"
End = "@„aÉ´°Of@W"'\1D{z"
LR = "@~\12a|\1BÚQ@k\17¤í\06¶¸"
Tile.Color.Par = "\00\00\00\07\00\00\00\00@\00\00\00\00\00\00\00\00\02\00\02@\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00@\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00@\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00@\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00@\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00\00@\00\00\00\00\00\00\00"
Colors = "\00\00\00\02"